半导体检测概念股有：
至纯科技：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为64.48%，过去三年毛利润最低为2018年的1.900亿元，最高为2020年的5.140亿元。
公司主要为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案，业务包括高纯工艺系统与高纯工艺设备的设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。
汉威科技：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为10.43%，过去三年毛利润最低为2018年的5.327亿元，最高为2020年的6.496亿元。
公司产品大类分为气体传感器、气体检测仪器仪表及监控系统，公司拥有从气体传感器-气体检测仪器仪表-监控系统的完整产业链，是国内唯一一家以传感器为主业的上市公司。
超华科技：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为0.06%，过去三年毛利润最低为2018年的2.352亿元，最高为2019年的2.923亿元。
公司在梅州、惠州、广州等地分别建立了现代化、规模化的大型生产基地，配备国际先进的高品质生产及检测设备，采用国际通行的企业管理模式，实施标准化作业管理和控制，并通过了ISO9001，2008、ISO/TS16949，2009、ISO14001，2004管理体系认证，产品通过UL、CQC认证。
芯源微：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为19.8%，过去三年毛利润最低为2018年的9762万元，最高为2020年的1.401亿元。
公司是国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备。
晶盛机电：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为17.99%，过去三年毛利润最低为2018年的10.02亿元，最高为2020年的13.95亿元。
公司与中环股份及其全资子公司中环中国香港、无锡市人民政府下属公司无锡发展拟共同投资组建中环领先半导体材料有限公司，注册资本50亿元，公司出资5亿占比10%；中环股份出资15亿；中环中国香港出资15亿，占比30%。
石英股份：
从近三年毛利润复合增长来看，近三年毛利润复合增长为-2.56%，过去三年毛利润最低为2020年的2.630亿元，最高为2018年的2.770亿元。
此次投资，可发挥公司与润辉公司在上下游业务领域的协同效应，拓宽公司产品在半导体业务领域的应用空间。
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